Repair Service

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Modify Service

LAM / Novellus

SIOC 0 Overhaul;02-267673-00;Innova;Lam

‧	HJ S/N：66-21101-10
‧	OEM：02-267673-00
‧	Model：02-267673-00
‧	Brand：Innova;Lam

SIOC 0 Repair;02-167049-00;Lam-(N);Inova

‧	HJ S/N：66-21102-10
‧	OEM：02-167049-00
‧	Model：02-167049-00
‧	Brand：Innova;Lam

SIOC 1 Overhaul;02-279241-00;Lam-(N);Innova

‧	HJ S/N：66-21103-10
‧	OEM：02-279241-00
‧	Model：02-279241-00
‧	Brand：Innova;Lam

HDSIOC 0 Overhaul;02-341930-00;NVLS Speed

‧	HJ S/N：67-21101-10
‧	OEM：02-341930-00
‧	Model：02-341930-00
‧	Brand：Speed;Lam

SESIOC Overhaul;02-168112-00;Speed;Lam

‧	HJ S/N：67-21102-10
‧	OEM：02-168112-00
‧	Model：02-168112-00
‧	Brand：Speed;Lam

ESIOC Overhaul;02-325957-00;Altus;Lam

‧	HJ S/N：70-21101-10
‧	OEM：02-325957-00
‧	Model：02-325957-00
‧	Brand：Altus;Lam(NVLS)

ESIOC 2 Overhaul;02-360893-00;Altus;Lam

‧	HJ S/N：70-21102-10
‧	OEM：02-360893-00
‧	Model：02-360893-00
‧	Brand：02-360893-00

SIOC 7 Overhaul;01-151285-00;NVLS Plating

‧	HJ S/N：70-21104-10
‧	OEM：01-151285-00
‧	Model：01-151285-00
‧	Brand：ECN;NVLS(LAM)

Ontrak motor Repair;GM14902D347-R5;Pittman Motor

‧	HJ S/N：71-20101-10
‧	OEM：12-8800-049
‧	Model： GM14902D347-R5
‧	Brand：Lam;Etch

Ontrak motor Overhaul; Pittman Motor_GM9413J818-R3

‧	HJ S/N：71-20102-10
‧	OEM：12-8882-064
‧	Model：12-8882-064
‧	Brand：Ontrak;Lam

Temperature Sensor Overhaul; FGA-0172A;666-045257-0001; LAM CXEX

‧	HJ S/N：70-21401-10
‧	OEM：666-045257-0001
‧	Model：FGA-0172A
‧	Brand： LAM CXEX

PUMP Overhaul;Novellus

‧	HJ S/N：60-20301-10
‧	OEM：
‧	Model：
‧	Brand：200mmECP;NVLS(LAM)

Isolation Valve Overhaul;XLD-50L-X1000;SMC;ASHA-NVLS

‧	HJ S/N：60-20701-10
‧	OEM：
‧	Model：XLD-50L-X1000
‧	Brand：300mm ASHA;NVLS(LAM)

Isolation Valve Overhaul;1-800-345-1967;MKS;300mmNVLS

‧	HJ S/N：60-20702-10
‧	OEM：
‧	Model：1-800-345-1967
‧	Brand：300mm ASHA;NVLS(LAM)

Power Supply Overhaul;Vl-PU03-EYW;C2 Altus;NVLS

‧	HJ S/N：60-21501-10
‧	OEM：
‧	Model：Vl-PU03-EYW
‧	Brand：200mmECP;NVLS(LAM)

End Effector New;15-256077-01;Vector

‧	HJ S/N：64-16401-10
‧	OEM：15-256077-01
‧	Model：
‧	Brand：Vector;Lam(NVLS)

End Effector New;15-256077-02;Vector

‧	HJ S/N：64-16402-10
‧	OEM：15-256077-02
‧	Model：
‧	Brand：Vector;Lam(NVLS)

IREPD Overhaul;20705;MKS;NVLS Vector

‧	HJ S/N：64-20003-10
‧	OEM：
‧	Model： 20705 20705A
‧	Brand：Vector;Lam(NVLS)

Motor Overhaul;100-000-721;Berkeley;Vector

‧	HJ S/N：64-20101-10
‧	OEM：
‧	Model：100-000-721
‧	Brand：Vector;Lam(NVLS)

Motor Overhaul;T730-042E59;Sanyo Denki;Vector

‧	HJ S/N：64-20102-10
‧	OEM：
‧	Model：T730-042E59
‧	Brand：Vector;Lam(NVLS)

Controller Overhaul;C-2027-D01;Trust;2 -AXIS;Motion;Vector

‧	HJ S/N：64-21108-10
‧	OEM：27-263160-00
‧	Model：C-2027-D01
‧	Brand：Vector;Lam(NVLS)

Controller Overhaul;C-2027-D04;Trust;2 -AXIS;Motion;Vector

‧	HJ S/N：64-21121-10
‧	OEM： 65-370393-00 75-370271-00 79-311387-00
‧	Model：C-2027-D04
‧	Brand：Vector;Lam(NVLS)

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