LAM / Novellus

C2 SEQUAL

Lower Spindle 

HJ P/N : 63-21601-10

Upper Spindle 

HJ P/N : 63-21602-10

4" Gate Valve  

HJ P/N : 63-20706-10  

4" Slider

HJ P/N : 67-20701-10

IOC

HJ P/N : 63-21101-10
OEM P/N : 27-10157-00
 
  C2 SPEED

8" Slider

HJ P/N : 67-20701-10

  C3 GAMMA

Spindle

HJ P/N : 64-21001-10

V-TEX Slit Valve

HJ P/N : 60-20702-10

SMC XGT300 Series

HJ P/N : 60-20704-10

C3 Vector

MC4

HJ P/N : 64-21111-10
OEM P/N : 02-423402-00

IREPD

HJ P/N : 64-20001-10
TYPE:20704A/20704BN/20705

HDSIOC

HJ P/N : 64-21102-10
OEM P/N : 02-252395-00

TEST

HJ P/N : 64-21102-10
OEM P/N : 02-252395-00

C3 SABRE

Clamshell Controller

HJ P/N : 65-21123-10
 

SIOC 

HJ P/N : 65-21101-10
OEM P/N : 02-168107-00

SIOC (X) Series

HJ P/N : 65-21103-10
OEM P/N : 02-351783-00

  Others

Temperature Sensor

HJ P/N : 70-21401-10
OEM P/N : 666-045257-0001